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Silizium-Halbleitertechnologie

Die Grundlage der mikroelektronischen Integrationstechnik ist die Silizium-Halbleitertechnologie. Sie setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchf? hrung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen gen? gen m? ssen, um die geforderten Strukturgr? ?

Untersuchungen über den Umformvorgang in Waagerecht-Stauchmaschinen

01 Das Wesen der Waagerecht-Stauchmaschine Eine Untersuchung, die den Umformvorgang in einer bestimmten artwork von Schmieiemaschinen betrachten soll, kann nicht unabhangig von ihren Eigenschaften vorgenommen werden. Daher seien einige Hinweise auf iie 1 Merkmale und Wirkungsweise von waagerecht-StaUChmaSChinen ) vorausge schickt.

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Reines Eisen kommt in zwei allotropen Modifikationen vor, das kubisch-raumzentrierte a- bzw. a- und das kubischflachenzentrierte y- Eisen. Die physikalischen und thermodynamischen Eigenschaften des Eisens sind in Tab. 1 zusammengestellt. Da a- und a-Eisen identisch sind, werden sie als ein und dieselbe Modifikation angesprochen. Die Existenzbereiche fiir a- und a-Eisen liegen unterhalb 910°C und zwischen 1400 und 1539°C, die fiir y-Eisen zwischen 910 und 1400°C. 1m Umwandlungspunkt konnen beide Phasen nebeneinander existieren, ohne ihre Stabilitat zu verlieren.

0,53 4,30 4,26 6,687 ? 2,03 2,01 6,687 100,0 0,0 0,08 75 fiseflkuf'bidgehulf if! lew. - % Punkt J K K' L M 2,418 17,286 17,139 25,000 ? 8,790 8,709 25,000 100,0 0,0 0,371 N 0 P P' Q S S' Sc I Temperatur in °0 1499 723 738 0,0 760 1400 760 723 738 0,0 723 738 ! -% in Atom-~{, ! 025 0,023 0,0 0,80 0,68 0,739 25,000 100,0 25,000 0,0 0,0 2,337 0,116 0,106 0,0 3,615 3,086 Abb. 20. Das Zustandsschaubild Eisen-Kohlenstoff nach [1] Der maximale C-Gehalt einer Fe-C-Si-Mn-S-P-Schmelze z. B. 10- 3 . to C + Ll % OS + Ll % OMn) + Ll % OS) + Ll %OP).

S. 48] iihnliche Beziehungen. Da die Verwendung von Gewichtsprozenten bei Rechenoperationen fiir den allgemeinen Gebrauch wesentlich einfacher ist, sind die entsprechenden Daten auf Prozentbasis umgerechnet worden [1] und in Form von Diagrammen und Gleichungen angegeben: Ll 0//0 OX) -- 0//0 OX) 0/ C (51 b) (max) /0 (max) Ll % OX) = m' . 5 %X (51c) Koh/eflstoffgehult if! ,J{]+ 2,57-1{rJt °C if)' O-l1iSChkrisf.. ~c ~II [I , o-'7-l1ischkf'isf V~ __1), N71/000 C" ~w ........ ~ Schmelze~~~-~-+--l~,~/~-~-~-+-+-l~W " , ,),-l1ischkf'istolle ~ .

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